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热灯丝CVD金刚石膜硼掺杂效应研究

廖克俊王万录张振刚吴彬

ACTA PHYSICA SINICAIssue(10)：1771-1776,6.

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ACTA PHYSICA SINICAIssue(10)：1771-1776,6.

热灯丝CVD金刚石膜硼掺杂效应研究

廖克俊 ¹王万录 ¹张振刚 ²吴彬²

作者信息

1. 兰州大学物理系
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摘要

关键词

硼掺杂/CVD/金刚石薄膜

分类

信息技术与安全科学

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廖克俊,王万录,张振刚,吴彬..热灯丝CVD金刚石膜硼掺杂效应研究[J].ACTA PHYSICA SINICA,1996,(10):1771-1776,6.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

ISSN：1000-3290

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