系统工程理论方法应用2004，Vol.13Issue(2)：177-181,5.
基于Petri网的半导体晶圆制造系统建模与分析
Petri Net-Based Modeling and Analysis for Semiconductor Wafer Fabrication System
邵志芳 1钱省三1
作者信息
- 1. 上海理工大学,工业工程研究所/微电子发展研究中心,上海,200093
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摘要
关键词
半导体晶圆制造/Petri网模型/分析分类
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邵志芳,钱省三..基于Petri网的半导体晶圆制造系统建模与分析[J].系统工程理论方法应用,2004,13(2):177-181,5.
