半导体学报2005,Vol.26Issue(9):1773-1777,5.
(111)晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比
Comparison of CdZnTe Etch Pits on Both (111)A and (111)B Faces
摘要
关键词
碲锌镉/位错/腐蚀坑密度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘从峰,方维政,涂步华,孙士文,杨建荣..(111)晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比[J].半导体学报,2005,26(9):1773-1777,5.基金项目
国家自然科学基金委创新研究群体科学基金资助项目(批准号:60221502) (批准号:60221502)