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(111)晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比

刘从峰 方维政 涂步华 孙士文 杨建荣

半导体学报2005,Vol.26Issue(9):1773-1777,5.
半导体学报2005,Vol.26Issue(9):1773-1777,5.

(111)晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比

Comparison of CdZnTe Etch Pits on Both (111)A and (111)B Faces

刘从峰 1方维政 1涂步华 1孙士文 1杨建荣1

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摘要

关键词

碲锌镉/位错/腐蚀坑密度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘从峰,方维政,涂步华,孙士文,杨建荣..(111)晶向碲锌镉晶片双面腐蚀的对比[J].半导体学报,2005,26(9):1773-1777,5.

基金项目

国家自然科学基金委创新研究群体科学基金资助项目(批准号:60221502) (批准号:60221502)

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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