传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1778-1780,1784,4.
SiNx和SiC材料的红外吸收特性研究
Infrared Absorbance of SiNx and SiC
王欣 1于晓梅 1田大宇1
作者信息
- 1. 北京大学微电子学研究院,北京,100871
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摘要
关键词
红外/LPCVD/PECVD/离子注入分类
化学化工引用本文复制引用
王欣,于晓梅,田大宇..SiNx和SiC材料的红外吸收特性研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1778-1780,1784,4.
