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一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计

卢明臻 高思田 金其海 崔建军 杜华 高宏堂

中国计量学院学报2006，Vol.17Issue(3)：178-181,4.
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中国计量学院学报2006，Vol.17Issue(3)：178-181,4.

一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计

An atomic force microscope head designed for nanometrology

卢明臻 1高思田 2金其海 2崔建军 2杜华 2高宏堂2

作者信息

  • 1. 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
  • 2. 中国计量科学研究院,长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京,100013
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摘要

关键词

纳米计量/原子力显微镜/阿贝误差/光纤导入

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

卢明臻,高思田,金其海,崔建军,杜华,高宏堂..一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计[J].中国计量学院学报,2006,17(3):178-181,4.

基金项目

国家"十五"重大科技专项基金资助项目(No.2002BR906A26). （No.2002BR906A26）

中国计量学院学报

OACHSSCDCSTPCD

2096-2835

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