光学精密工程2009，Vol.17Issue(8)：1783-1789,7.
紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测试
Numerical analysis and measurement of stray light from UV ruled gratings
摘要
关键词
衍射光栅/杂散光/数值分析分类
数理科学引用本文复制引用
巴音贺希格,李燕,吴娜,于海利,张善文,齐向东..紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测试[J].光学精密工程,2009,17(8):1783-1789,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.60478043) （No.60478043）
中国科学院"优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项资金"资助项目(No.O72031G070) （No.O72031G070）
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02) （No.2006BAK03A02）
吉林省科技发展计划资助项目(No.20070523) （No.20070523）
