中国机械工程2005，Vol.16Issue(20)：1787-1790,4.
超精密二维工作台自标定技术研究
Research on Self-calibration of Two-dimensional Ultra-precision Stages
摘要
关键词
超精密/二维工作台/自标定/测量不确定度分析分类
机械制造引用本文复制引用
朱立伟,朱煜,尹文生..超精密二维工作台自标定技术研究[J].中国机械工程,2005,16(20):1787-1790,4.基金项目
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003cb716204) （2003cb716204）
