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金刚石薄膜的合成及相应的等离子体状态

詹如娟

人工晶体学报Issue(2)：179,1.
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人工晶体学报Issue(2)：179,1.

金刚石薄膜的合成及相应的等离子体状态

詹如娟1

作者信息

  • 1. 不详;不详
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摘要

关键词

化学汽相沉积/金刚石膜/薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

詹如娟..金刚石薄膜的合成及相应的等离子体状态[J].人工晶体学报,1993,(2):179,1.

人工晶体学报

OACSCD

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