物理学报2007，Vol.56Issue(3)：1790-1795,6.
超高温度系数V0.97W0.03O2多晶薄膜的制备研究
Preparation of polycrystalline V0.97W0.03O2 thin films with ultra high TCR at room temperature
摘要
关键词
二氧化钒薄膜/薄膜掺杂/离子束增强沉积分类
数理科学引用本文复制引用
李金华,袁宁一,谢太斌,但迪迪..超高温度系数V0.97W0.03O2多晶薄膜的制备研究[J].物理学报,2007,56(3):1790-1795,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:10675055),江苏省自然科学基金(批准号:BK2005023)和常州市工业科技攻关基金(批准号:CE2005027)资助的课题. （批准号:10675055）
