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物理学报
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PECVD硼掺杂微晶硅薄膜的压阻特性
PECVD硼掺杂微晶硅薄膜的压阻特性
郭述文
谭淞生
王渭源
物理学报
Issue(11)：1794-1799,6.
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物理学报
Issue(11)
：1794-1799,6.
PECVD硼掺杂微晶硅薄膜的压阻特性
郭述文
1
谭淞生
1
王渭源
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郭述文,谭淞生,王渭源..PECVD硼掺杂微晶硅薄膜的压阻特性[J].物理学报,1988,(11):1794-1799,6.
物理学报
OA
CSCD
ISSN：
1000-3290
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