物理学报2007，Vol.56Issue(3)：1802-1808,7.
含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(I)sp结构与化学键分析
Study of FN-DLC thin films:(I)sp structure and chemical bond analysis
肖剑荣 1徐慧 2郭爱敏 1王焕友1
作者信息
- 1. 中南大学物理科学与技术学院,长沙,410083
- 2. 中南大学材料科学与工程学院,长沙,410083
- 折叠
摘要
关键词
含氮氟化类金刚石膜/sp结构/化学键结构/射频功率分类
化学化工引用本文复制引用
肖剑荣,徐慧,郭爱敏,王焕友..含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(I)sp结构与化学键分析[J].物理学报,2007,56(3):1802-1808,7.
