传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1810-1814,5.
不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性
Piezoresistive Properties of Poly-Si Nanofilms Deposited at Different Temperatures
揣荣岩 1刘晓为 2潘慧艳 1王蔚 1张颍1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001
- 2. 沈阳工业大学信息科学与工程学院,沈阳,110023
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摘要
关键词
多晶硅/纳米薄膜/压阻特性/淀积温度/应变系数分类
数理科学引用本文复制引用
揣荣岩,刘晓为,潘慧艳,王蔚,张颍..不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性[J].传感技术学报,2006,19(5):1810-1814,5.
