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表面处理对p-GaN欧姆接触的影响

郭德博 梁萌 范曼宁 师宏伟 刘志强 王国宏 王良臣

半导体学报2007,Vol.28Issue(11):1811-1814,4.
半导体学报2007,Vol.28Issue(11):1811-1814,4.

表面处理对p-GaN欧姆接触的影响

Effects of Surface Treatments on Ohmic Contact to p-GaN

郭德博 1梁萌 1范曼宁 1师宏伟 2刘志强 1王国宏 1王良臣1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所,北京,100083
  • 2. 河北科技师范学院数学物理系,秦皇岛,066004
  • 折叠

摘要

关键词

GaN/欧姆接触/圆形传输线模型

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郭德博,梁萌,范曼宁,师宏伟,刘志强,王国宏,王良臣..表面处理对p-GaN欧姆接触的影响[J].半导体学报,2007,28(11):1811-1814,4.

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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