纺织高校基础科学学报2007，Vol.20Issue(2)：181-185,5.
磁控溅射制备参数对ZnO薄膜结构和光学性能的影响
Influence of magnetron sputtering growth parameters on the microstructure and optical properties of ZnO films
摘要
关键词
磁控溅射/ZnO薄膜/射频功率/结晶性分类
数理科学引用本文复制引用
余花娃,杜亚利,王晶,刘静..磁控溅射制备参数对ZnO薄膜结构和光学性能的影响[J].纺织高校基础科学学报,2007,20(2):181-185,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50271038) （50271038）
国家重点基础研究发展规划基金资助项目(2004CB619302) （2004CB619302）
