硅基TPMS集成传感器研究

张兆华刘兵武张艳红谭智敏林惠旺刘理天

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1815-1817,3.

Design and Fabrication of Silicon Integrated Sensor Chip Used for TPMS

张兆华 ¹刘兵武 ¹张艳红 ¹谭智敏 ²林惠旺 ²刘理天¹

作者信息

TPMS/压力传感器/温度传感器/压阻效应/应力分布

信息技术与安全科学

张兆华,刘兵武,张艳红,谭智敏,林惠旺,刘理天..硅基TPMS集成传感器研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1815-1817,3.

浙江省科技攻关重大专项资助(2005C11015) （2005C11015）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-1699

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