福州大学学报（自然科学版）1999，Vol.27Issue(4)：18-20,3.
磁控溅射ITO透明导电薄膜的研究
On Transparent Conductive Indium Tin Oxide FilmPrepared by DC Magnetron Reactive Sputtering Technique
陈跃1
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- 1. 福州大学电子科学与应用物理系,福建福州350002
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陈跃..磁控溅射ITO透明导电薄膜的研究[J].福州大学学报（自然科学版）,1999,27(4):18-20,3.
