现代科学仪器Issue(4)：18-20,24,4.
微纳尺度操作的系统设计
Micro-Nano Scale Manipulation System Design
李勇滔 1韩立 2殷伯华 1吴震 1刘俊标1
作者信息
- 1. 中国科学院电工研究所,北京,100190
- 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
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摘要
关键词
微纳尺度操作/SEM/微纳操作臂/精密工件台分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李勇滔,韩立,殷伯华,吴震,刘俊标..微纳尺度操作的系统设计[J].现代科学仪器,2009,(4):18-20,24,4.基金项目
国家自然科学基金项目[No.50607018] （）
