人工晶体学报2007，Vol.36Issue(1)：18-21,4.
LBO晶体超光滑表面抛光机理
Mechanism of Super Smooth Surface Polishing for LBO Crystal
摘要
关键词
LBO晶体/化学机械抛光/超光滑表面/抛光机理/材料去除分类
数理科学引用本文复制引用
李军,朱镛,陈创天..LBO晶体超光滑表面抛光机理[J].人工晶体学报,2007,36(1):18-21,4.基金项目
国家863项目(2002AA311120) （2002AA311120）
中国科学院知识创新工程项目(KJCXZ-XW-W09) （KJCXZ-XW-W09）
