西安理工大学学报2009，Vol.25Issue(1)：18-22,5.
基于磁控溅射技术沉积光伏电池用硅基薄膜材料的研究
The Study of Si-Based Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering for Photovoltaic Cell
摘要
关键词
硅薄膜/硅纳米晶/SiNx/Si纳米多层膜/磁控溅射分类
数理科学引用本文复制引用
赵志明,蒋百灵,郭伟..基于磁控溅射技术沉积光伏电池用硅基薄膜材料的研究[J].西安理工大学学报,2009,25(1):18-22,5.基金项目
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA33H010) （863计划）
西安理工大学科研基金资助项目(101210703). （101210703）
