半导体学报2006，Vol.27Issue(z1)：183-185,3.
低阻P型衬底上高阻厚层n型外延
High Resistivity and Thick Epitaxial Layer of n-Type on Low Resistivity p-Type Substrates
谭卫东 1唐有青 1马利行 1骆红 1张文清 1高涛1
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谭卫东,唐有青,马利行,骆红,张文清,高涛..低阻P型衬底上高阻厚层n型外延[J].半导体学报,2006,27(z1):183-185,3.
