半导体学报2008，Vol.29Issue(1)：183-188,6.
Metropolis蒙特卡罗模拟湿法腐蚀算法研究及应用
A Metropolis Monte Carlo Simulation Approach for Anisotropic Wet Etching and Its Applications
摘要
关键词
Metropolis蒙特卡罗/单晶硅/各向异性/湿法腐蚀分类
数理科学引用本文复制引用
朱鹏,幸研,易红,汤文成..Metropolis蒙特卡罗模拟湿法腐蚀算法研究及应用[J].半导体学报,2008,29(1):183-188,6.基金项目
国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA04Z351)和国家自然科学基金(批准号:50675033)资助项目 （批准号:2006AA04Z351）
