传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1835-1839,5.
电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析
Design and Finite Element Analysis of a Magnetically Actuated Silicon Resonant Beam
摘要
关键词
谐振频率/电磁激励/双端固支梁/有限元分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
潘军,黄庆安,秦明..电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析[J].传感技术学报,2006,19(5):1835-1839,5.基金项目
国家自然科学基金资助(60476019) （60476019）
