中国机械工程2003，Vol.14Issue(3)：184-186,3.
一种栅型结构微机械陀螺的研究
Study on a Silicon Micromachined Gyroscope with Fence Structure
摘要
关键词
微机械陀螺/动力学方程/角速度传感器/微机械加工技术分类
航空航天引用本文复制引用
熊斌,车录锋,王跃林..一种栅型结构微机械陀螺的研究[J].中国机械工程,2003,14(3):184-186,3.基金项目
国家重点基础研究发展规划资助项目(G1999033101) （G1999033101）
