传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1844-1846,1851,4.
基于共振隧穿二极管的GaAs基压力传感器研制
A GaAs Pressure Sensor Based on Resonant Tunneling Diodes
摘要
关键词
共振隧穿二极管/GaAs/压力传感器/控制孔工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王建,张文栋,薛晨阳,熊继军,张斌珍,仝召民..基于共振隧穿二极管的GaAs基压力传感器研制[J].传感技术学报,2006,19(5):1844-1846,1851,4.基金项目
国家自然科学基金资助(50405025,50375050) （50405025,50375050）
