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三氯乙烯氧化硅膜推迟破坏性击穿的机理研究
三氯乙烯氧化硅膜推迟破坏性击穿的机理研究
李观启
黄美浅
刘百勇
郑耀宗
物理学报
Issue(11)：1846-1854,9.
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物理学报
Issue(11)
：1846-1854,9.
三氯乙烯氧化硅膜推迟破坏性击穿的机理研究
李观启
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黄美浅
1
刘百勇
1
郑耀宗
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关键词
三氯乙烯
/
氧化硅
/
薄膜
/
破坏性击穿
分类
信息技术与安全科学
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李观启,黄美浅,刘百勇,郑耀宗..三氯乙烯氧化硅膜推迟破坏性击穿的机理研究[J].物理学报,1991,(11):1846-1854,9.
物理学报
OA
CSCD
ISSN：
1000-3290
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