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非晶碳膜电子辐照性质的研究

顾书林 何宇亮 王志超

半导体学报Issue(3)：185,1.
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半导体学报Issue(3)：185,1.

非晶碳膜电子辐照性质的研究

顾书林 1何宇亮 1王志超2

作者信息

  • 1. 南京大学物理系，南京210008
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摘要

关键词

非晶碳膜/α－C：H/淀积/电子辐照

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

顾书林,何宇亮,王志超..非晶碳膜电子辐照性质的研究[J].半导体学报,1993,(3):185,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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