传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1855-1858,1862,5.
一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计
A Diaphragm Design of Microfabircated Resonant Pressure Sensor
任森 1苑伟政 1邓进军1
作者信息
- 1. 西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072
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摘要
关键词
谐振式压力传感器/敏感膜片/硅岛/凸角补偿分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
任森,苑伟政,邓进军..一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计[J].传感技术学报,2006,19(5):1855-1858,1862,5.
