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基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制

胡洪平 林雁飞 冯勇建

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1859-1862,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1859-1862,4.

基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制

Development of MEMS Capacitance Sensor Based on Pressure Artificial Denture

胡洪平 1林雁飞 1冯勇建1

作者信息

  • 1. 厦门大学物理与机电工程学院机电系,福建,厦门,361005
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摘要

关键词

义齿/医用传感器/MEMS/压力检测

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

胡洪平,林雁飞,冯勇建..基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制[J].传感技术学报,2006,19(5):1859-1862,4.

基金项目

福建省自然科学基金资助(2002H020) （2002H020）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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