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金属镀层膜厚量值溯源方法的研究

朱小平 王蔚晨 杜华 叶孝佑

计量学报2006,Vol.27Issue(z1):186-188,3.
计量学报2006,Vol.27Issue(z1):186-188,3.

金属镀层膜厚量值溯源方法的研究

Research of Traceability for Plated Thickness Measurement

朱小平 1王蔚晨 1杜华 1叶孝佑1

作者信息

  • 1. 中国计量科学研究院,北京,100013
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/镀层厚度/X荧光/台阶高度/溯源

分类

机械制造

引用本文复制引用

朱小平,王蔚晨,杜华,叶孝佑..金属镀层膜厚量值溯源方法的研究[J].计量学报,2006,27(z1):186-188,3.

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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