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金属镀层膜厚量值溯源方法的研究
金属镀层膜厚量值溯源方法的研究
朱小平
王蔚晨
杜华
叶孝佑
计量学报
2006,Vol.27
Issue(z1):186-188,3.
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计量学报
2006,Vol.27
Issue(z1)
:186-188,3.
金属镀层膜厚量值溯源方法的研究
Research of Traceability for Plated Thickness Measurement
朱小平
1
王蔚晨
1
杜华
1
叶孝佑
1
作者信息
1.
中国计量科学研究院,北京,100013
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摘要
关键词
计量学
/
镀层厚度
/
X荧光
/
台阶高度
/
溯源
分类
机械制造
引用本文
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朱小平,王蔚晨,杜华,叶孝佑..金属镀层膜厚量值溯源方法的研究[J].计量学报,2006,27(z1):186-188,3.
计量学报
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN:
1000-1158
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