传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1863-1867,1870,6.
一种新型CMOS电容式绝对压力传感器的设计
Design of A Novel CMOS Capacitive Absolute Pressure Sensor
摘要
关键词
CMOS电容式绝对压力传感器/灵敏度/电容检测电路分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘娜,黄庆安,秦明..一种新型CMOS电容式绝对压力传感器的设计[J].传感技术学报,2006,19(5):1863-1867,1870,6.基金项目
国家自然科学基金重点项目资助课题(90607002) （90607002）
