半导体学报2003，Vol.24Issue(z1)：187-191,5.
用多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器
Fabrication of Silicon Condenser Microphone Using Porous Silicon as Sacrificial Layer
宁瑾 1刘焕章 1葛永才 1刘忠立1
作者信息
- 1. 中国科学院半导体研究所微电子中心,北京,100083
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摘要
关键词
硅基电容式微传声器/多孔硅/牺牲层/聚酰亚胺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宁瑾,刘焕章,葛永才,刘忠立..用多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器[J].半导体学报,2003,24(z1):187-191,5.
