光学精密工程2009，Vol.17Issue(8)：1878-1883,6.
具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制
Design of four-arm MEMS microgripper integrated with force sensor
摘要
关键词
微机电系统/MEMS微夹持器/侧面压阻/微操作分类
机械制造引用本文复制引用
孙立宁,陈涛,邵兵,李昕欣..具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制[J].光学精密工程,2009,17(8):1878-1883,6.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA04Z256) （No.2006AA04Z256）
国家自然科学基金资助项目(No.50805040) （No.50805040）
