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交错振动式微型电场传感器

龚超 陶虎 白强 陈绍凤 夏善红

中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：188-190,3.
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中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：188-190,3.

交错振动式微型电场传感器

Miniature Interlacing Vibration Electric Field Sensors

龚超 1陶虎 2白强 1陈绍凤 2夏善红1

作者信息

  • 1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

电场传感器/微机电系统/交错振动式/有限元

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

龚超,陶虎,白强,陈绍凤,夏善红..交错振动式微型电场传感器[J].中国机械工程,2005,16(z1):188-190,3.

基金项目

国家863高技术研究发展计划资助重大项目(2004AA404030) （2004AA404030）

中国机械工程

OA北大核心CSCD

1004-132X

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