材料科学与工程学报2005，Vol.23Issue(2)：188-190,3.
端部霍尔等离子体源沉积类金刚石膜的研究
Research on Deposition Diamond-like Carbon Films with End-hall plasma Ion Source
潘永强 1朱昌 2弥歉 1方勇1
作者信息
- 1. 西安工业学院光电工程学院,陕西,西安,710032
- 2. 西安电子科技大学理学院,陕西,西安,710071
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摘要
关键词
端部霍尔离子源/类金刚石膜/红外光谱分类
通用工业技术引用本文复制引用
潘永强,朱昌,弥歉,方勇..端部霍尔等离子体源沉积类金刚石膜的研究[J].材料科学与工程学报,2005,23(2):188-190,3.
