西安理工大学学报2005，Vol.21Issue(2)：188-191,4.
硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究
The Electro-Thermally Excitation of Silicon Microcantilever Resonator and Optical Fiber Pickup Vibrating Technology
摘要
关键词
硅微谐振器/电热激励/光纤传感检测分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张少君,赵小强,刘月明..硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究[J].西安理工大学学报,2005,21(2):188-191,4.基金项目
陕西省教委专项科研计划基金资助项目(02JK155) （02JK155）
西安理工大学科技创新研究计划基金资助项目. （）
