物理学报2005，Vol.54Issue(4)：1885-1889,5.
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响
Effect of RF power on the structure and properties of diamond-like carbon films
摘要
关键词
等离子增强化学气相沉积/类金刚石薄膜/射频功率/结构和性能分类
数理科学引用本文复制引用
李红轩,徐洮,陈建敏,周惠娣,刘惠文..射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响[J].物理学报,2005,54(4):1885-1889,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:59925513,50323007)、国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA305670)和中国科学院"百人计划"资助的课题. （批准号:59925513,50323007）
