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微波等离子体CVD制备金刚石薄膜

高克林

人工晶体学报Issue(2)：189,1.
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人工晶体学报Issue(2)：189,1.

微波等离子体CVD制备金刚石薄膜

高克林1

作者信息

  • 1. 不详;不详
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摘要

关键词

金刚石薄膜/化学汽相沉积

分类

数理科学

引用本文复制引用

高克林..微波等离子体CVD制备金刚石薄膜[J].人工晶体学报,1993,(2):189,1.

人工晶体学报

OACSCD

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