传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1896-1899,4.
聚酰亚胺(PI)树脂在电容式RF MEMS开关制作中的应用
The Application of Polyimide(PI) in the Manufacture Process of RF MEMS Capacitive Shunt Switch
彭慧耀 1于映 1罗仲梓 2王培森1
作者信息
- 1. 福州大学电子系,福州,350002
- 2. 厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建,厦门,360003
- 折叠
摘要
关键词
聚酰亚胺/RF MEMS电容式开关/光刻/牺牲层/保护层分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
彭慧耀,于映,罗仲梓,王培森..聚酰亚胺(PI)树脂在电容式RF MEMS开关制作中的应用[J].传感技术学报,2006,19(5):1896-1899,4.
