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甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究

张晓丹 赵颖 高艳涛 朱锋 魏长春 孙建 王岩 耿新华 熊绍珍

物理学报2005，Vol.54Issue(4)：1899-1903,5.
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物理学报2005，Vol.54Issue(4)：1899-1903,5.

甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究

Study of microcrystalline silicon solar cells fabricated by very high frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition

张晓丹 1赵颖 2高艳涛 3朱锋 1魏长春 2孙建 3王岩 1耿新华 2熊绍珍3

作者信息

  • 1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071
  • 2. 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071
  • 3. 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071
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摘要

关键词

微晶硅太阳电池/甚高频等离子体增强化学气相沉积

分类

数理科学

引用本文复制引用

张晓丹,赵颖,高艳涛,朱锋,魏长春,孙建,王岩,耿新华,熊绍珍..甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究[J].物理学报,2005,54(4):1899-1903,5.

基金项目

国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000028202,G2000028203)、教育部国际科技合作项目(批准号:2002DFG00051)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA303261)资助的课题. （批准号:G2000028202,G2000028203）

物理学报

OA北大核心CSCDSCI

1000-3290

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