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气相外延单板机直接数字控制系统

梁任秋 黄胜军

电子学报Issue(3)：19,1.
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电子学报Issue(3)：19,1.

气相外延单板机直接数字控制系统

梁任秋 1黄胜军1

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梁任秋,黄胜军..气相外延单板机直接数字控制系统[J].电子学报,1986,(3):19,1.

电子学报

0372-2112

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