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脉冲激光沉积法制备ZnO基薄膜研究进展

董伟伟 陶汝华 方晓东

量子电子学报2006,Vol.23Issue(1):1-9,9.
量子电子学报2006,Vol.23Issue(1):1-9,9.

脉冲激光沉积法制备ZnO基薄膜研究进展

Recent advances on ZnO-based films synthesized by pulsed laser deposition

董伟伟 1陶汝华 1方晓东1

作者信息

  • 1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031
  • 折叠

摘要

关键词

激光技术/半导体材料/脉冲激光沉积法/ZnO基薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

董伟伟,陶汝华,方晓东..脉冲激光沉积法制备ZnO基薄膜研究进展[J].量子电子学报,2006,23(1):1-9,9.

基金项目

中国科学院安徽光机所资助项目 ()

量子电子学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-5461

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