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Zn离子注入和退火对ZnO薄膜光学性能的影响

袁兆林 祖小涛 薛书文 张晓艳 余华军 向霞 居勇峰

强激光与粒子束2007,Vol.19Issue(11):1918-1922,5.
强激光与粒子束2007,Vol.19Issue(11):1918-1922,5.

Zn离子注入和退火对ZnO薄膜光学性能的影响

Effects of Zn ion implantation and post-thermal annealing on ZnO thin films

袁兆林 1祖小涛 1薛书文 1张晓艳 1余华军 1向霞 1居勇峰1

作者信息

  • 1. 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054
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摘要

关键词

ZnO薄膜/离子注入/退火温度/吸收/光致发光

分类

数理科学

引用本文复制引用

袁兆林,祖小涛,薛书文,张晓艳,余华军,向霞,居勇峰..Zn离子注入和退火对ZnO薄膜光学性能的影响[J].强激光与粒子束,2007,19(11):1918-1922,5.

基金项目

高等学校博士点科研基金资助课题(20050614013) (20050614013)

教育部新世纪优秀人才支持计划资助课题(NCET-04-0899) (NCET-04-0899)

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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