传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1920-1923,4.
平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究
Theoretical Analysis and Experimental Study of a Planar Type MEMS Electromagnetic Actuator
摘要
关键词
微机电系统(MEMS)/继电器/电磁驱动/非线性磁路分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨昊宇,赵小林,戴旭涵,邵国成,丁桂甫..平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1920-1923,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(50405013)、上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309) （50405013）
