表面技术2007，Vol.36Issue(1)：19-21,3.
化学蚀刻单晶硅及其表面形貌研究
Chemical Etching on Single-crystalline Silicon Slice and its Surface Morphology
摘要
关键词
化学蚀刻/单晶硅片/表面形貌分类
矿业与冶金引用本文复制引用
樊丽梅,文九巴,赵胜利,祝要民..化学蚀刻单晶硅及其表面形貌研究[J].表面技术,2007,36(1):19-21,3.基金项目
河南省教育厅自然科学计划项目(2006430005) （2006430005）
