测控技术1999，Vol.18Issue(1)：19-21,3.
一种硅微型加速度计的制备与测试方法研究
A Study of Preparation Technologies and Testing Methods of a Micro-silicon Accelerometer
张燕娥1
作者信息
- 1. 南京东南大学仪器科学与工程系,210096
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摘要
关键词
硅微加速度计/制备/测试分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张燕娥..一种硅微型加速度计的制备与测试方法研究[J].测控技术,1999,18(1):19-21,3.
