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新型MEMS氨气传感器的测试

王灵婕 陈盛 林吉申

测试技术学报2004,Vol.18Issue(z3):19-21,3.
测试技术学报2004,Vol.18Issue(z3):19-21,3.

新型MEMS氨气传感器的测试

Test of New Type MEMS Ammonia Sensitive Sensor

王灵婕 1陈盛 1林吉申1

作者信息

  • 1. 物理与信息工程学院,福州大学,福州,350002
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS/氨气/传感器/测试

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王灵婕,陈盛,林吉申..新型MEMS氨气传感器的测试[J].测试技术学报,2004,18(z3):19-21,3.

测试技术学报

1671-7449

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