安徽工程科技学院学报（自然科学版）2009，Vol.24Issue(2)：19-21,29,4.
掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备及结合机理探索
AI-doped zinc oxide thin film preparation and integration mechanism
摘要
关键词
磁控溅射/AZO薄膜/扫描电镜/能谱仪分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
汤辉,侯大寅..掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备及结合机理探索[J].安徽工程科技学院学报（自然科学版）,2009,24(2):19-21,29,4.基金项目
安徽省自然基金资助项目(070414192) （070414192）
安徽省高校自然科学基金资助项目(kj2009-119) （kj2009-119）
