理化检验-物理分册2006，Vol.42Issue(1)：19-22,39,5.
RF磁控溅射法制备ZnO薄膜的XRD分析
XRD ANALYSIS OF ZnO THIN FILMS PREPARED BY RF MAGNETRON SPUTTERING
摘要
关键词
ZnO薄膜/RF磁控溅射/XRD/退火处理/结晶性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
汪冬梅,吕珺,陈长奇,吴玉程,郑治祥..RF磁控溅射法制备ZnO薄膜的XRD分析[J].理化检验-物理分册,2006,42(1):19-22,39,5.基金项目
合肥工业大学中青年科技创新群体专项资助(103-037016) （103-037016）
