光学精密工程2009，Vol.17Issue(8)：1922-1927,6.
DC～30 GHz并联接触式RF MEMS开关的设计与制造
Design and fabrication of DC to 30 GHz DC-contact shunt RF MEMS switch
摘要
关键词
微机电系统/RF MEMS开关/并联接触分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
侯智昊,刘泽文,李志坚..DC～30 GHz并联接触式RF MEMS开关的设计与制造[J].光学精密工程,2009,17(8):1922-1927,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.60576048) （No.60576048）
国家973重点基础研究发展规划资助项目(No.2007CB310500) （No.2007CB310500）
