强激光与粒子束2007,Vol.19Issue(11):1927-1930,4.
10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源
10 kV high voltage pulse power supply for plasma surface modification
摘要
关键词
等离子体表面改性/高压脉冲电源/脉冲单元模块/串联分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
巩春志,田修波,曹珍恩,朱宗涛,杨士勤..10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源[J].强激光与粒子束,2007,19(11):1927-1930,4.基金项目
新世纪优秀人才支持计划 ()
哈尔滨市科技创新人才研究专项基金资助课题(2006RFXXS012) (2006RFXXS012)
国家自然科学基金资助课题(50373007,10575025) (50373007,10575025)